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标准号：GB/T 20726-2015

中文名称：微束分析电子探针显微分析X射线能谱仪主要性能参数及核查方法

英文名称：Micobeam analysis. selected instrumental performance parameters for the specification and checking of energy dispersive X-ray spectrometers for use in electron probe microanalysis

现行

发布日期：2015-10-09

实施日期：2016-09-01

作废日期：2026-03-01

中标分类：橡胶制品综合

ICS分类：有关分析化学的其他标准

范围：本标准规定了表征以半导体探测器、前置放大器和信号处理系统为基本构成的X射线能谱仪(EDS)特性最重要的性能参数。本标准仅适用于基于固态电离原理的半导体探侧器能谱仪。本标准规定了与扫描电镜（SEM）或电子探针（EPMA）联用的EDS性能参数的最低要求以及核查方法。至于实际分析过程,在ISO 22309[2]和ASTM E1508[3]中已有规范,不在本标准范围之内。

备注：

被下列标准代替

无相关被替代标准

代替了下列标准

无相关替代标准

引用了下列标准

无相关引用标准

采用了下列标准

无相关采用标准

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